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一文詳解Micro LED技術及關鍵組成架構和市場概況

來源:芯ONE        編輯:ZZZ    2024-07-09 10:37:48     加入收藏

Micro LED技術,即LED微縮化和矩陣化技術。指的是在一個芯片上集成的高密度微小尺寸的LED陣列,如LED顯示屏每一個像素可定址、單獨驅動點亮,可看成是戶外LED顯示屏的微縮版,將像素點距離從毫米級降低至微米級。

01

Micro LED技術概況

  Micro LED技術,即LED微縮化和矩陣化技術。指的是在一個芯片上集成的高密度微小尺寸的LED陣列,如LED顯示屏每一個像素可定址、單獨驅動點亮,可看成是戶外LED顯示屏的微縮版,將像素點距離從毫米級降低至微米級。

  而Micro LED display,則是底層用正常的CMOS集成電路制造工藝制成LED顯示驅動電路,然后再用MOCVD機在集成電路上制作LED陣列,從而實現(xiàn)了微型顯示屏,也就是所說的LED顯示屏的縮小版。

  Micro LED的像素單元在100微米(P0.1)以下,并被高密度地集成在一個芯片上。微縮化使得MicroLED具有更高的發(fā)光亮度、分辨率與色彩飽和度,以及更快的顯示響應速度,預期能夠應用于對亮度要求較高的增強現(xiàn)實(AR)微型投影裝置、車用平視顯示器(HUD)投影應用、超大型顯示廣告牌等特殊顯示應用產(chǎn)品,并有望擴展到可穿戴/可植入器件、虛擬現(xiàn)實(VR)、光通訊/光互聯(lián)、醫(yī)療探測、智能車燈、空間成像等多個領域。

  顧名思義,Micro LED就是“微”LED,作為一種新顯示技術,與其它顯示技術,比如LCD,OLED,PDP,其核心的不同之處在于其采用無機LED作為發(fā)光像素。對于“Micro”這個概念,到底定義是多少呢?像素尺寸一般要到100μm以下。

  LED并不是一個新事物,作為發(fā)光二極管,其在顯示上的應用本應該是順理成章的事情。但是很長一段時間,除了戶外廣告屏上的應用之外,LED顯示應用一直不能發(fā)展起來,其原因是:a.要做到手機屏/電視這種級別的顯示器,LED像素在尺寸上難以做小;b. LED外延晶片與顯示驅動工藝不兼容,且需考慮大尺寸顯示的問題,所以針對Micro LED需要開放合適的背板技術。c. 如何將“巨量”的三色微小LED轉移到制作好驅動電路的基底上去,即“巨量轉移”技術,也是決定Micro LED能否商業(yè)的關鍵。

  由于像素單元低至微米量級,Micro LED顯示產(chǎn)品具有多項性能指標優(yōu)勢。Micro LED功率消耗量僅為LCD的10%、OLED的50%,其亮度可達OLED的10倍,分辨率可達OLED的5倍。

  在設備兼容性方面,Micro LED有望承接液晶顯示高度成熟的電流驅動TFT技術,在未來顯示技術演進進程中具有一定優(yōu)勢。根據(jù)LEDinside預估,2022年Micro LED顯示的市場銷售額將達到6.94億美元,略高于Mini LED顯示。Micro LED與LCD、OLED和量子點LED(QLED)顯示的性能比較如下表所示:

  1 Micro LED 顯示原理

  系將LED結構設計進行薄膜化、微小化、陣列化,其尺寸僅在1~10μm等級左右;后將μLED批量式轉移至電路基板上(含下電極與晶體管),其基板可為硬性、軟性之透明、不透明基板上;再利用物理沉積制程完成保護層與上電極,即可進行上基板的封裝,完成一結構簡單的Micro LED Display。

圖片來源:DJ理財網(wǎng)

  2 Micro LED典型結構

  PN接面二極管,由直接能隙半導體材料構成。當上下電極施加一順向偏壓于μLED,致使電流通過時,電子、電洞對于主動區(qū)(Active region) 復合,而發(fā)射出單一色光。μLED發(fā)光頻譜其主波長的半高全寬FWHM僅約20nm,可提供極高的色飽和度,通常可大于120%NTSC。

  且自2008年后LED光電轉換效率大幅提高,100 lm/W以上的LED已成量產(chǎn)之標準。而在Micro LED Display的應用上,為自發(fā)光的顯示特性,輔以幾乎無光耗元件的簡易結構,故可輕易達到低能耗(10%~20% TFT-LCD能耗) 或高亮度(1000nits以上) 的顯示器設計。即可解決目前顯示器應用的兩大問題,一是穿戴型裝置、手機、平板等設備,有8成以上的能耗在于顯示器上,低能耗的顯示器技術可提供更長的電池續(xù)航力;一是環(huán)境光較強(例:戶外、半戶外)致使顯示器上的影像泛白、辨識度變差的問題,高亮度的顯示技術可使其應用的范疇更加寬廣。

  3 Micro 顯示原理

  像素結構

  Micro LED顯示一般采用成熟的多量子阱LED芯片技術。以典型的InGaN基LED芯片為例,Micro LED像素單元結構從下往上依次為藍寶石襯底層、25nm的GaN緩沖層、3μm的N型GaN層、包含多周期量子阱(MQW)的有源層、0.25μm的P型GaN接觸層、電流擴展層和P型電極。像素單元加正向偏電壓時,P型GaN接觸層的空穴和N型GaN層的電子均向有源層遷移,在有源層電子和空穴發(fā)生電荷復合,復合后能量以發(fā)光形式釋放。

  與傳統(tǒng)LED顯示屏相比,Micro LED具有兩大特征,一是微縮化,其像素大小和像素間距從毫米級降低至微米級;二是矩陣化和集成化,其器件結構包括CMOS工藝制備的LED顯示驅動電路和LED矩陣陣列。

  陣列驅動

  InGaN基Micro LED的像素單元一般通過以下四個步驟制備。第一步通過ICP刻蝕工藝,刻蝕溝槽至藍寶石層,在外延片上隔離出分離的長條形GaN平臺。第二步在GaN平臺上,通過ICP刻蝕,確立每個特定尺寸的像素單元。第三步通過剝離工藝,在P型GaN接觸層上制作Ni/Au電流擴展層。第四步通過熱沉積,在N型GaN層和P型GaN接觸層上制作Ti/Au歐姆接觸電極。其中,每一列像素的陰極通過N型GaN層共陰極連接,每一行像素的陽極則有不同的驅動連接方式,其驅動方式主要包括被動選址驅動(PassiveMatrix,簡稱PM,又稱無源尋址驅動)、主動選址驅動(ActiveMatrix,簡稱AM,又稱有源尋址驅動)和半主動選址驅動三種方式。

  其中,被動選址驅動是把像素電極做成矩陣型結構,每一列(行)像素的陽(陰)極共用一個列(行)掃描線,兩層電極之間通過沉積層進行電學隔離,以同時選通第X行和第Y列掃描線的方式來點亮位于第X行和第Y列的LED像素,高速逐點(或逐行)掃描各個像素來實現(xiàn)整個屏幕畫面顯示的模式。

  主動選址驅動模式下,每個 Micro LED 像素有其對應的獨立驅動電路,驅動電流由驅動晶體管提供?;镜闹鲃泳仃囼寗与娐窞殡p晶體管單電容電路。每個像素電路中,選通晶體管用來控制像素電路開關,驅動晶體管與電源連通為像素提供穩(wěn)定電流,存儲電容用來儲存數(shù)據(jù)信號。為了提高灰階等顯示能力,可以采用四晶體管雙電容電路等復雜的主動矩陣驅動電路。

  半主動選址驅動方式采用單晶體管作為 Micro LED 像素的驅動電路,從而可以較好地避免像素之間的串擾現(xiàn)象。半主動驅動由于每列驅動電流信號需要單獨調制,性能介于主動驅動和被動驅動之間。

  4 芯片制備

  與LED顯示相同,Micro LED芯片一般采用刻蝕和外延生長(Epitaxy,又稱磊晶)的方式制備。芯片制作流程主要包括以下幾步:

  襯底制備,用有機溶劑和酸液清洗藍寶石襯底后,采用干法刻蝕制備出圖形化藍寶石襯底。

  中間層制備,利用MOCVD進行氣相外延,在高溫條件下分別進行GaN緩沖層、N型GaN層、多層量子阱、P型GaN層生長制備。

  臺階刻蝕,在外延片表面形成圖形化光刻膠,之后利用感應耦合等離子體刻蝕(ICP)工藝刻蝕到N型GaN層。

  導電層制備,在樣品表面濺射氧化銦錫(ITO)導電層,光刻形成圖形化ITO導電層。五是絕緣層制備,利用等離子體增強化學的氣相沉積法(PECVD)沉積形成SiO2絕緣層,之后經(jīng)光刻和濕法刻蝕。

  電極制備,采用剝離法等方法制備出圖形化光刻膠,電子束蒸發(fā)Au后利用高壓剝離機對光刻膠進行剝離。

圖片來源:DJ理財網(wǎng)

  5 Micro LED背板

  從應用來看,大尺寸顯示器顯示屏因顯示面積大以至于畫素間距也較大,在背板的選用上會有PCB與Glass的選擇。中型尺寸的車用顯示器則不使用線寬線距較大的PCB,而以線寬線距極限略小于PCB 的Glass以及FPC為主。小尺寸的手機與手表以適合中小型顯示需求的玻璃與FPC的背板為主。

  在微投影與顯示的擴增實境/虛擬實境的背板顯示需求將會微縮至30μm等級以下,因此將會以可微縮線寬線距半導體制程的 Si CMOS 背板為主,并背搭配眼鏡需透光的需求也會有光學式FPC的應用需求。

  從基板材質看,Micro LED芯片和背板的鍵合的基材主要有PCB、玻璃和硅基。根據(jù)線寬、線距極限的不同,可以搭配不同的背板基材。其中,PCB 基板的應用最為成熟。

  另外CMOS工藝,其采用鍵合金屬實現(xiàn)LED陣列與硅基CMOS驅動背板的電學與物理連接。制作過程中,首先在CMOS驅動背板中通過噴濺工藝熱沉積和剝離工藝等形成功能層,再通過倒裝焊設備即可實現(xiàn)LED微顯示陣列與驅動背板的對接。

圖片來源:賽迪智庫

  Micro LED瓶頸——“巨量轉移”技術(Mass Transfer)

  如上面所講,制作好的微小的LED需要轉移到做好驅動電路的基底上。想想看,無論是TV還是手機屏,其像素的數(shù)量都是相當巨大的,而像素的尺寸又是那么小,并且顯示產(chǎn)品對于像素錯誤的容忍度也是很低的,沒有人愿意去購買一塊有“亮點”或“暗點”的顯示屏,所以將這些小像素完美地轉移到做好驅動電路的襯底上并實現(xiàn)電路連接是多么困難復雜的技術。實際上,“巨量轉移”確實是目前Micro LED商業(yè)化上面的一大瓶頸技術。其轉移的效率,成功率都決定著商業(yè)化的成功與否。

  巨量轉移技術(Mass Transfer)

  目前看來,“巨量轉移”都還是一個“量產(chǎn)前”技術,為了實現(xiàn)“巨量轉移”的目標,市面上一些相當不一樣的技術。現(xiàn)在總結如下:

  如上圖所示,目前根據(jù)已有的資料調查顯示,巨量轉移技術按照原理的不一樣,主要分為四個流派:精準抓取,自組裝,選擇性釋放和轉印技術。

  但是即使是屬于同一個技術流派,實現(xiàn)的方式也是很有差別,因此很難給出一個精準的劃分。如下列出在巨量轉移上開展開發(fā)的一些廠商:

  Luxvue, Cooledge, VueReal, X-Celeprint, ITRI, KIMM, Innovasonic, PlayNitride, ROHINNI, Uniqarta, Optivate, Nth degree, e-Lux, SelfArray

  3.1 Pick&Place技術

  3.1.1 采用范德華力

  如下為X-Celeprint的Elastomer Stamp技術,這屬于pick&place陣營的范德華力派。其采用高精度控制的打印頭,進行彈性印模,利用范德華力讓LED黏附在轉移頭上,然后放置到目標襯底片上去。目前采用的彈性體(Elastomer)一般是PDMS。X-Celeprint也稱其技術為Micro-Transfer_Printing(μTP)技術。

  要實現(xiàn)這個過程,對于source基板的處理相當關鍵,要讓制備好的LED器件能順利地被彈性體材料(Elastomer)吸附并脫離源基底,先需要通過處理LED器件下面呈現(xiàn)“鏤空”的狀態(tài),器件只通過錨點(Anchor)和斷裂鏈(Techer)固定在基底上面。當噴涂彈性體后,彈性體會與器件通過范德華力結合,然后將彈性體和基底分離,器件的斷裂鏈發(fā)生斷裂,所有的器件則按照原來的陣列排布,被轉移到彈性體上面。制作好“鏤空”,“錨點”和“斷裂點”的基底見下圖所示。

  Rogers, J. A., et al. (2011). Unusual strategies for using indium gallium nitride grown on silicon (111) for solid-state lighting, PNAS

  X-Celeprint在其發(fā)表在“2017 IEEE 67th Electronic Components and Technology Conference”上面的論文,展示了一些源基板制作的一些概念。如下圖所示,通過對器件底部的一些處理,然后通過刻蝕的方法,可以制作成時候這種轉移方式的器件結構。但是詳細的工藝,仍然還有待確認。

  如下為X-Celeprint公司展示的實例。

  3.1.2 采用磁力

  利用磁力的原理,是在LED器件中混入鐵鈷鎳等材料,使其帶上磁性。在抓取的時候,利用電磁力控制,達到轉移的目的。

  目前ITRI,PlayNitride在這方面做了大量的工作。

  3.1.3 采用靜電力

  Luxvue是蘋果公司在2016年收購的創(chuàng)業(yè)公司。其采用的是靜電力的peak-place技術。其具體的實現(xiàn)細節(jié)我沒有查到,只有如下的兩個專利或許能透漏出其細節(jié)的一鱗半爪。希望后面能得到更多的細節(jié)。采用靜電力的方式,一般采用具有雙極結構的轉移頭,在轉移過程中分布施加正負電壓,當從襯底上抓取LED時,對一硅電極通正電,LED就會吸附到轉移頭上,當需要把LED放到既定位置時,對另外一個硅電極通負電,轉移即可完成。

  3.2 自組裝技術

  美國一家新創(chuàng)公司SelfArray展示了其開發(fā)的自組裝方式。首先,其將LED外表包覆一層熱解石墨薄膜,放置在磁性平臺,在磁場引導下LED將快速排列到定位。采用這種方式,應該是先會處理磁性平臺,讓磁性平臺能有設計好的陣列分布,而分割好的LED器件,在磁場的作用下能快速實現(xiàn)定位,然后還是會通過像PDMS一類的中間介質,轉移到目標基底上去。根據(jù)推測,這種技術方式的好處有如下:

  避免對源基板的器件進行復雜的結構設計去適應巨量轉移工藝。

  因為LED會批量切割,因此可以在轉移前進行篩選,先去除不合格的LED。

  采用磁性自組裝,預計時間會更加快速。

  源基板不需要過多考慮目標基板的實際陣列排布,預期可以有更大的設計空間。

  還有一家利用流體進行自組裝裝配的企業(yè)是eLux。eLue于2016年在美國成立,eLux與日本夏普的淵源很深,CEO Jong-Jan Lee與CTO Paul Schuele均出自夏普美國實驗室(Sharp Laboratories of America)。2017年富士康通過其子公司CyberNet Venture Capital向其注資1000萬美元,2018年有于群創(chuàng)光電,AOT和夏普一起,正式收購eLux的全部股權。所謂流體自組裝,就是利用流體的力量,讓LED落入做好的特殊結構中,達到自組裝的效果。

  3.3 選擇性釋放技術

  Uniqarta是一家英國公司,其采用其成為LEAP(Laser-Enabled Advanced Placement)技術。通過激光束對源基底的快速掃描,讓其直接脫離源基板而集成到目標基板上。對于這種技術的前景,目前仍然需要更多技術細節(jié)的支持。

  Uniqarta's LEAP技術

  而Coherent的方案與Uniqarta有些類似,但其也要用到中介轉移的載體,不過對于載體和源基底的分離,其采用的是線激光束。而將LED器件從載體轉移到目標基底,則采用了點激光。

  3.4 轉印技術

  如下為KIMM公司的轉印技術技術,轉印技術通過滾輪將TFT與LED轉移到玻璃基底上面。對于這種技術,技術難度看起來非常大,特別是在于如果保證生產(chǎn)良率上面。

  4 Micro LED其它需要關注的問題

  除了巨量轉移之外,Micro LED的整個工藝鏈都需要投入大量的時間去予以改進和優(yōu)化。如下圖所示,為Micro LED產(chǎn)品生產(chǎn)的工藝鏈,其中就涉及到:襯底材料和尺寸的選擇,外延工藝的選擇,彩色實現(xiàn)的方案,巨量轉移技術的選擇,缺陷的檢測和維修和整個工藝鏈上成本的壓縮等等。這必將花費業(yè)界大量的時間去持續(xù)推進。

 

02

2023年Micro LED產(chǎn)業(yè)進程

  LEDinside在此對今年以來的Micro LED各類動態(tài)進行了收集整理,回顧Micro LED產(chǎn)業(yè)發(fā)展的最新進程。

  

 

 

03

Micro LED的六大核心難關

  Micro LED 的工藝流程包括襯底制備、外延片與晶圓制備、像素組裝、缺陷監(jiān)測、全彩化、光提取與成型、像素驅動等7個環(huán)節(jié),具體來說其產(chǎn)業(yè)鏈包括芯片制造、巨量轉移、面板制造、封裝/模組、應用及相關配套產(chǎn)業(yè)。Micro LED 芯片微小化也使得傳統(tǒng)的制造技術不再適用,在芯片制備的各個環(huán)節(jié)都面臨著全新的技術挑戰(zhàn) ,成本居高不下,這也制約了 Micro LED 芯片當前的滲透率。

  難點一:微縮芯片及外延

  目前,半導體芯片的制程已相當成熟,但 Micro LED 支撐技術及相關產(chǎn)業(yè)公司仍處于摸索階段。與傳統(tǒng) LED 產(chǎn)業(yè)鏈相比,Micro LED 芯片的微縮化對芯片制造提出了更高的要求,既需要將芯片尺寸微縮至50um以下,同時還需要滿足高 PPI 需求 ,因此在外延制備、PL、ITO、光刻、蝕刻、磊晶剝離、電測等環(huán)節(jié)均面臨精細化工藝、良率提升等技術難關。

  此外,隨著 LED 芯片尺寸變小,蝕刻過程中側壁缺陷將對內部量子效率 IQE 造成影響,大幅減少芯片傳輸量,導致外部量子效率 EQE 效率減弱 。目前來看,反射膜添加劑引入光提前結構均可實現(xiàn)一定程度的 EQE 提升,但在小型領域應用仍屬于工程問題,未來發(fā)展仍存在挑戰(zhàn)。

  難點二:巨量轉移

  由于 Micro LED 的芯片尺寸小,相較傳統(tǒng) LED 單位面積下晶粒數(shù)量龐大,需要將大量 LED 晶粒準確且高效轉移至電路板上。以3840*2160的4K顯示為例,需轉移晶體數(shù)量超過2,000萬,按照常規(guī)轉移效率計算,需要幾日甚至幾周才能完成全部的晶粒轉移,晶粒轉移效率及良率控制未達到量產(chǎn)標準,難以形成規(guī)模效應,制備成本及產(chǎn)品價格居高不下。

  巨量轉移被認為是實現(xiàn) Micro LED 價格大規(guī)模降低、從而實現(xiàn)其商業(yè)化落地的核心技術之一。若巨量轉移技術取得突破,將帶來一個廣闊的轉移設備市場。

  針對這一技術難點,業(yè)內的主流解決方案目前包括靜電吸附、相變化轉移、流體裝配、滾軸轉印、磁力吸附、范德華力轉印、激光轉移等。激光轉移在修復難度和轉移效率等維度上效果更優(yōu),未來有可能成為巨量轉移的主流技術。

  早在2012年,蘋果、三星、索尼等行業(yè)巨頭相繼布局巨量轉移技術,國內起步較晚,專利方面也主要由外國廠商占據(jù)主導地位。 根據(jù) Yole 出具的 Micro LED 顯示專利報告,LuxVue 和 X-celeprint 把持著巨大的專利數(shù)量,ITRI(臺灣工研院)、CSOT(華星光電)緊隨其后,但專利數(shù)量仍不及 LuxVue 半數(shù),差距懸殊。

  我們持續(xù)關注行業(yè)內企業(yè)在巨量轉移方面的最新進展。以光源服務的合肥欣奕華為例,合肥欣奕華致力于提供高端裝備、工業(yè)機器人、智慧工廠解決方案,掌握多項高端裝備核心技術,填補國內 Micro LED 和 OLED 空白,是推進中國智能制造發(fā)展的領軍企業(yè)之一。公司自主研發(fā)的蒸鍍設備、巨量轉移設備在國產(chǎn)設備中市占率第一,已在半導體、顯示面板、光伏等賽道擁有超百家賽道知名客戶。

  難點三:全彩化

  顯示器的色彩顯示需要通過全彩化技術來實現(xiàn),這也是 Micro LED 的核心技術難點之一。目前 Micro LED 在近眼顯示領域尚無法實現(xiàn)全彩的高亮顯示,在 AR/VR 等對分辨率、色彩顯示要求極高的應用場景仍面臨巨大挑戰(zhàn)。

  Micro LED 單色顯示僅需通過倒裝結構封裝與驅動 IC 貼合,顯示、制備與工藝難度相對較低,而全彩化方案工藝復雜度相對較高,現(xiàn)有的解決方案有 RGB 三色 LED 法、UV/藍光LED+發(fā)光介質法、透鏡合成法,但目前均存在相應的短板。以 RGB 三色陣列為例,需要依次轉貼紅、藍、綠晶粒。同時,由于嵌入晶粒規(guī)模超過十萬,對于晶粒光效、波長的一致性、良率要求更高。一旦實際輸出電流與理論電流出現(xiàn)偏差,就會導致像素呈現(xiàn)色彩偏差。

  在工藝流程和材料方面,UV/藍光LED+發(fā)光介質法相較其他方案更為簡單,主要采用藍光 LED 來替換背光板、以量子點膜或熒光粉作為發(fā)光介質替代 RGB 濾光片。量子點膜的粒徑介于1-10nm之間,較熒光粉顆粒更小,同時因其高吸光-發(fā)光效率、寬吸收頻譜等特性,色彩純度與飽和度更高,是比熒光粉更優(yōu)的技術方案。 以藍光 LED 替換背光板光源后,量子點膜在藍光激發(fā)下可發(fā)出純正的綠光和紅光,完成全彩顯示。

  我們認為,未來隨著量子點技術的完善,UV/藍光LED+發(fā)光介質法具備更大的發(fā)展前景,有望成為全彩化的主流技術,且量子點在 LCD、OLED 中也均可發(fā)揮巨大作用,建議關注在量子點具有深厚技術沉淀的公司。

  難點四:檢測

  由于 Micro LED 的芯片尺寸和間距極小,傳統(tǒng)的測試設備難以使用,如何在百萬甚至千萬級的芯片中對缺陷晶粒進行檢測、修復或替換是一個巨大的挑戰(zhàn)。現(xiàn)有的解決方案包括光致發(fā)光測試和電致發(fā)光測試。光致發(fā)光測試主要利用光源激發(fā)硅片或太陽電池片,通過對特定波長的發(fā)光信號進行采集、數(shù)據(jù)處理,從而識別芯片缺陷。電致發(fā)光測試則是指,在強電場作用下,芯片中的電子成為過熱電子后,根據(jù)其回到基態(tài)時所發(fā)出的光來檢測芯片缺陷。

  難點五:芯片封裝

  Micro LED 相較傳統(tǒng) LED 芯片間距小,這也導致貼片難度增加,成本也會面臨指數(shù)型增長?,F(xiàn)有的解決方案以 COB 和 COG 封裝為主,近來也出現(xiàn)了新型封裝技術 MIP,全稱 Micro LED in Package,即集成封裝。MIP 在成本和效率上更具優(yōu)勢,它的基板精度高,芯片無需測試篩選,測試分選在封裝環(huán)節(jié)即可完成。此外,由于點測難度從芯片級難度轉換為引腳上的點測,測試難度降低,并且可采用巨量轉移技術,具備較大發(fā)展前景。

  難點六:基板制造

  作為傳統(tǒng)顯示領域的固定鏈條,基板材料一直處于穩(wěn)定地位,常見的材料包括 PCB、玻璃基板。Micro LED 入局可以促成對現(xiàn)有產(chǎn)能的消化,不過這也需要基板廠商為巨量轉移技術做好承接。Micro LED 更容易在平整的玻璃基板上實現(xiàn)巨量轉移,玻璃基板發(fā)展?jié)摿Ω蟆?/p>

  5 總結

  Micro LED作為一種新興的顯示技術,目前在業(yè)界得到了廣泛的關注。由于其采用無機LED發(fā)光,所以較LCD,OLED等技術有獨特的優(yōu)勢。但是,目前Micro LED收到一些瓶頸技術的限制,特別是巨量轉移工藝上,即使業(yè)界能夠在有所突破,但要真正提高良率,降低成本,也需要花費時日。并且,整個工藝鏈的完善也非朝日之功,因此,Micro LED要大規(guī)模量產(chǎn)并替代現(xiàn)有產(chǎn)品,應該還需要時間。

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